企業簡介
無錫亞電智能裝備有限公司(AEL)坐落于江蘇省無錫市,是一家半導體設備制造企業,主要從事8寸和12寸半導體濕法設備及其輔助設備的設計和制造。目前該公司的產品包括:8寸和12寸 Wet bench,8寸和12寸爐管清洗機、Cassette&Foup清洗機、Parts清洗機,CDS等,同時該公司也承接半導體濕法設備的維修和改造業務。
該公司在國內廠房占地約3000平米,其中無塵車間占地約1000平米。目前公司正在江蘇泰州籌建12寸 single 設備廠,占地面積100余畝,預計未來的3~5年時間12寸 single 設備可以研發成功并投入使用。
AEL設計制造的8寸和12寸wet bench 國內外累計17臺,涵蓋:DHF、BOE、SC1、SC2、Solvent、SPM、Nitride、EGBHF等工藝。其中2018年該公司為華潤上華設計制造的8寸130nm制程 cassetteless wetbench已投入生產中。
AEL聯合國內外資深的半導體濕法工程師,共同組建一支集研發、設計、制造、工藝解決為一體的專業團隊,國內設備和工藝團隊主要由國內一線業內的外資企業和國內企業工程師組成(如:Intel、SKhynix、CSMC、SIMC等);外籍設備和工藝團隊主要由日韓等長期從事半導體濕法設備研發設計制造的資深工程師組成。半導體濕法設備研發設計制造經驗不低于十年以上的中高級工程師15人。在其逐漸成長的過程中累計了大量的生產一線經驗,具備和國際一線廠商競爭的實力。