紫外光表面清洗技術(shù)在國(guó)際上是隨著光電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展而提出來(lái)的。七十年代中期美國(guó)軍事電子技術(shù)和器件實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用紫外光照射清洗石英晶片取得滿意的效果。但是,美國(guó)在較長(zhǎng)的時(shí)間里紫外光表面清洗技術(shù)主要在軍事領(lǐng)域中進(jìn)行研究性應(yīng)用。直到九十年代初,日本和美國(guó)先后將UV光清洗機(jī)應(yīng)用于民用光電子產(chǎn)品的工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程,并開(kāi)始向我國(guó)個(gè)別外資LCD企業(yè)在要求技術(shù)保密的情況下提供UV光清洗機(jī)。隨后,日本在發(fā)展紫外光表面清洗技術(shù)的同時(shí),紫外光表面改質(zhì)技術(shù)也得到了發(fā)展。在二十世紀(jì)末,日本等先進(jìn)工業(yè)國(guó)家紫外光表面清洗和改質(zhì)技術(shù)由信息產(chǎn)業(yè)逐步擴(kuò)展到金屬、塑料、橡膠等工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程。二十世紀(jì)九十年代后期,我國(guó)的信息技術(shù)和產(chǎn)業(yè)以驚人的速度飛速發(fā)展,特別是平板顯示技術(shù)的高速發(fā)展,LCD顯示屏由TN級(jí)向STN和TFT不斷提升,新型的OLED顯示產(chǎn)品也開(kāi)始進(jìn)入市場(chǎng)。由此,對(duì)制備工藝過(guò)程表面質(zhì)量要求越來(lái)越嚴(yán)格,紫外光表面清洗技術(shù)的優(yōu)越性已經(jīng)得到廣泛認(rèn)可,UV光清洗機(jī)的需求量正在不斷增長(zhǎng)。
北京航天高力通科技發(fā)展有限公司注冊(cè)于中關(guān)村園區(qū)海淀園,是集光清洗技術(shù)和光清洗機(jī)的研究、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、銷售為一體的高新技術(shù)企業(yè)。公司依靠自己的力量,成功的開(kāi)發(fā)了具有世界先進(jìn)水平的工業(yè)化UV光清洗機(jī)系列產(chǎn)品,大功率低壓紫外汞燈不僅在國(guó)內(nèi),而且與國(guó)際上同類產(chǎn)品水平相當(dāng),UV光清洗機(jī)的清洗效果達(dá)到國(guó)外先進(jìn)水平。經(jīng)清華大學(xué)化學(xué)系分析中心俄歇電子能譜儀檢測(cè),對(duì)ITO玻璃基片進(jìn)行光清洗后,達(dá)到了原子清潔度。二○○三年六月,公司研制的紫外光表面清洗機(jī)獲得國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局頒發(fā)的《發(fā)明專利》證書(shū)(專利號(hào):ZL00105842.8,國(guó)際主分類號(hào):HOIL21/30)。我公司目前是國(guó)內(nèi)少數(shù)專業(yè)從事光清洗機(jī)研制、生產(chǎn)、銷售并獲得UV光清洗機(jī)發(fā)明專利授權(quán)的單位;也是國(guó)內(nèi)自行研制的UV光清洗機(jī)早進(jìn)入市場(chǎng)的高新技術(shù)公司。