廣東省中科宏微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司,是由中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、廣東省工業(yè)技術(shù)研究院(廣州有色金屬研究院)、廣東國(guó)晟投資有限公司、東莞勤上光電股份有限公司和洲明科技股份有限公司共同投資組建的股份制公司。公司注冊(cè)資本為13057.24萬(wàn)元人民幣,總投資超過(guò)3億元人民幣。 公司以中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所為技術(shù)依托,聚集國(guó)內(nèi)外團(tuán)隊(duì),專注于半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的重大核心裝備—金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)設(shè)備的研發(fā)和制造,所開(kāi)發(fā)產(chǎn)品具有國(guó)內(nèi),國(guó)際先進(jìn)水平。 公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)成員均擁有研究生或大學(xué)學(xué)歷,專業(yè)構(gòu)成主要有半導(dǎo)體材料、機(jī)械設(shè)計(jì)、真空技術(shù)、流體仿真模擬、電氣自動(dòng)控制等多方面專業(yè)領(lǐng)域。本項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)以自主研發(fā)的MOCVD重大裝備,實(shí)現(xiàn)MOCVD裝備的國(guó)產(chǎn)化為目標(biāo)。公司承擔(dān)有國(guó)家“863”和廣東省科技廳重大科技項(xiàng)目。 MOCVD裝備研發(fā)和制造技術(shù)的突破,為打破國(guó)外公司對(duì)MOCVD裝備市場(chǎng)的壟斷,實(shí)現(xiàn)MOCVD裝備的國(guó)產(chǎn)化鋪平了道路。該項(xiàng)目得到了中共**政治局委員、廣東省委書(shū)記汪洋、全國(guó)人大常委會(huì)副委員長(zhǎng)路甬祥和中國(guó)科學(xué)院院長(zhǎng)白春禮等領(lǐng)導(dǎo)的極大關(guān)注和支持。廣東省科技廳和廣州市政府對(duì)MOCVD項(xiàng)目技術(shù)成果順利“落地”并快速發(fā)展,給予了積極支持和大力協(xié)助。
我公司已成功下線首臺(tái)48片國(guó)產(chǎn)MOCVD設(shè)備,目前正進(jìn)行第二、三臺(tái)改進(jìn)型樣機(jī)的調(diào)試工作,計(jì)劃于2013年內(nèi)完成接下來(lái)10臺(tái)MOCVD設(shè)備的制作。 物窮其理,宏微交替。公司將努力搭建國(guó)際的MOCVD裝備設(shè)計(jì)、制造和生產(chǎn)平臺(tái),形成年產(chǎn)MOCVD設(shè)備200臺(tái)以上、年產(chǎn)值超過(guò)20億元人民幣的規(guī)模,成為國(guó)際的MOCVD裝備制造企業(yè)和支撐我國(guó)半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要企業(yè)。