廣東省中科宏微半導體設備有限公司,是由中國科學院半導體研究所、廣東省工業技術研究院(廣州有色金屬研究院)、廣東國晟投資有限公司、東莞勤上光電股份有限公司和洲明科技股份有限公司共同投資組建的股份制公司。公司注冊資本為13057.24萬元人民幣,總投資超過3億元人民幣。 公司以中國科學院半導體研究所為技術依托,聚集國內外團隊,專注于半導體照明產業領域的重大核心裝備—金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)設備的研發和制造,所開發產品具有國內,國際先進水平。 公司研發團隊成員均擁有研究生或大學學歷,專業構成主要有半導體材料、機械設計、真空技術、流體仿真模擬、電氣自動控制等多方面專業領域。本項目團隊以自主研發的MOCVD重大裝備,實現MOCVD裝備的國產化為目標。公司承擔有國家“863”和廣東省科技廳重大科技項目。 MOCVD裝備研發和制造技術的突破,為打破國外公司對MOCVD裝備市場的壟斷,實現MOCVD裝備的國產化鋪平了道路。該項目得到了中共**政治局委員、廣東省委書記汪洋、全國人大常委會副委員長路甬祥和中國科學院院長白春禮等領導的極大關注和支持。廣東省科技廳和廣州市政府對MOCVD項目技術成果順利“落地”并快速發展,給予了積極支持和大力協助。
我公司已成功下線首臺48片國產MOCVD設備,目前正進行第二、三臺改進型樣機的調試工作,計劃于2013年內完成接下來10臺MOCVD設備的制作。 物窮其理,宏微交替。公司將努力搭建國際的MOCVD裝備設計、制造和生產平臺,形成年產MOCVD設備200臺以上、年產值超過20億元人民幣的規模,成為國際的MOCVD裝備制造企業和支撐我國半導體照明產業發展的重要企業。