上海茂竺（上海茂索）以技術(shù)產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)相輔并進(jìn)的快速發(fā)展模式。為半導(dǎo)體、醫(yī)藥及生物芯片等行業(yè)提供廠務(wù)所必需的材料部件（隔膜閥、EP（BA）管道等）以及特殊氣體設(shè)備[例如特氣柜(GAS CABINET) 、閥門(mén)箱（VMB）]，化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)（例如CDU、TEE-BOX、SAMPLING BOX）。 上海茂竺（上海茂索）信奉以客戶為中心的服務(wù)理念，提供設(shè)備安裝及二次配管等一系列高純系統(tǒng)的整體解決方案，具體內(nèi)容覆蓋了從方案設(shè)計(jì)到安裝、測(cè)試等方面。茂竺電子通過(guò)控制項(xiàng)目的重復(fù)設(shè)計(jì)和建設(shè)，達(dá)到花費(fèi)項(xiàng)目資金和周期的***小化。 我們主要服務(wù)于以下各行業(yè)： 高亮度發(fā)光二極管外延HB-LED： 主要工藝設(shè)備 MOCVD 光刻機(jī)等 有機(jī)發(fā)光二極管OLED: PECVD, 濺射臺(tái)，蒸發(fā)臺(tái)OLED臺(tái)，OTFT臺(tái)， 太陽(yáng)能電池：主要工藝設(shè)備 PECVD,SPUTTER等 硅外延：外延爐 微機(jī)電系統(tǒng)MEMS：主要工藝設(shè)備RIE，LPCVD，ICP，等離子清洗機(jī)，濺射機(jī)等 醫(yī)藥及生物芯片： 平面及等離子顯示器： 化工： 其他材料薄膜制造設(shè)備：APCVD，LPCVD，MBE，HVPE等。 特氣設(shè)備及潔凈部件（特氣鋼瓶柜、閥門(mén)箱）主要用于控制高純特殊氣體，又稱電子特氣，包括氫氣H2、氮?dú)釴2、氧氣O2、 氬氣Ar、磷烷PH3、砷烷AsH3、硅烷SiH4、氨氣NH3、三氯一氫硅烷T(mén)CS、 氯氣CL2、氯化氫氣體HCL、三氯化硼B(yǎng)CL3、三甲基硼TMB、二氯二氫硅烷DCS等等多種氣體或液化氣體。