上海茂竺（上海茂索）以技術產品和技術服務相輔并進的快速發展模式。為半導體、醫藥及生物芯片等行業提供廠務所必需的材料部件（隔膜閥、EP（BA）管道等）以及特殊氣體設備[例如特氣柜(GAS CABINET) 、閥門箱（VMB）]，化學品供應系統（例如CDU、TEE-BOX、SAMPLING BOX）。 上海茂竺（上海茂索）信奉以客戶為中心的服務理念，提供設備安裝及二次配管等一系列高純系統的整體解決方案，具體內容覆蓋了從方案設計到安裝、測試等方面。茂竺電子通過控制項目的重復設計和建設，達到花費項目資金和周期的***小化。 我們主要服務于以下各行業： 高亮度發光二極管外延HB-LED： 主要工藝設備 MOCVD 光刻機等 有機發光二極管OLED: PECVD, 濺射臺，蒸發臺OLED臺，OTFT臺， 太陽能電池：主要工藝設備 PECVD,SPUTTER等 硅外延：外延爐 微機電系統MEMS：主要工藝設備RIE，LPCVD，ICP，等離子清洗機，濺射機等 醫藥及生物芯片： 平面及等離子顯示器： 化工： 其他材料薄膜制造設備：APCVD，LPCVD，MBE，HVPE等。 特氣設備及潔凈部件（特氣鋼瓶柜、閥門箱）主要用于控制高純特殊氣體，又稱電子特氣，包括氫氣H2、氮氣N2、氧氣O2、 氬氣Ar、磷烷PH3、砷烷AsH3、硅烷SiH4、氨氣NH3、三氯一氫硅烷TCS、 氯氣CL2、氯化氫氣體HCL、三氯化硼BCL3、三甲基硼TMB、二氯二氫硅烷DCS等等多種氣體或液化氣體。