我公司專業(yè)銷售美國(guó)矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司的氣體質(zhì)量流量計(jì),該流量計(jì)是世界上生產(chǎn)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、低功耗、超大量程的EMES流量傳感器。與專利封裝技術(shù)和系統(tǒng)控制技術(shù)相結(jié)合,為流體測(cè)量提供了全機(jī)全新的拓展空間。
在流量芯片基礎(chǔ)上制造的微功耗氣體流量計(jì)已獲得了中國(guó)質(zhì)檢部門頒發(fā)的計(jì)量器具生產(chǎn)許可證及產(chǎn)品防爆認(rèn)證。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于工業(yè)及商用燃?xì)庥?jì)量、醫(yī)療與呼吸設(shè)備、供氧、制氧設(shè)備、工業(yè)氣體測(cè)量及過(guò)程控制、環(huán)保等領(lǐng)域。在移動(dòng)燃料電池等科技領(lǐng)域也有所貢獻(xiàn)。
EMES質(zhì)量流量傳感芯片,能根據(jù)用戶的需求提供精確的在線流量計(jì)量.傳感器芯片采用矽翔公司獨(dú)特的MEMS工藝制造,具有極高的可靠性。傳感器可測(cè)量低至0.01m/s及高達(dá)65m/s的氣體流速。專門設(shè)計(jì)的電路具有微小信號(hào)處理功能以保證高精度輸出。
MEMS質(zhì)量流量傳感器的基本測(cè)量原理是通過(guò)氣體流量產(chǎn)生的溫度場(chǎng)變化來(lái)確定氣體流速。當(dāng)無(wú)氣體流動(dòng)時(shí),傳感器周圍保持穩(wěn)定的溫度場(chǎng)分布。當(dāng)氣體流動(dòng)時(shí),溫度場(chǎng)因?yàn)闅怏w帶走熱量導(dǎo)致局部溫度分布變化,這種局部溫度場(chǎng)的變化取決于氣體介質(zhì)的質(zhì)量及流速,集成在芯片上的傳感器對(duì)此溫度分布進(jìn)行測(cè)量,通過(guò)校準(zhǔn),專門設(shè)計(jì)的信號(hào)處理電路和智能控制軟件可得到所需要的流量數(shù)據(jù)。由于不同質(zhì)量的氣體對(duì)熱場(chǎng)的變化具有不同的影響,因而,所測(cè)量的為質(zhì)量流量。質(zhì)量流量可根據(jù)需要換算成體積流量及累計(jì)體積流量。不同與傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)采用單一熱傳感器及熱源來(lái)量測(cè)熱損耗并由此測(cè)量氣體的質(zhì)量流量,矽翔公司的流量芯片是采用了多個(gè)傳感器進(jìn)一步減少了對(duì)環(huán)境的測(cè)量的影響,從而完全無(wú)需壓力補(bǔ)償。
矽翔公司的流量傳感器是用大規(guī)模集成電路電路的生產(chǎn)方式制成的,它具有高度的一致性和可靠性,從而在產(chǎn)品的校準(zhǔn)和生產(chǎn)成本上具有極大的優(yōu)勢(shì)。同時(shí)功耗也遠(yuǎn)低于現(xiàn)有的熱式傳感器,并具有較短的動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間。在使用上更為準(zhǔn)確,同時(shí)為更大規(guī)模的應(yīng)用創(chuàng)造了條件。傳感器芯片表面采用具有高度導(dǎo)熱性能的陶瓷材料鈍化處理,在保證靈敏度的同時(shí)避免傳感器與氣體介質(zhì)直接接觸以提高其可靠性。傳感器的另一個(gè)不同于傳統(tǒng)的熱式傳感器的特點(diǎn)是,由于其熱源十分微小,采用插入式在相對(duì)而言大的流場(chǎng)中,在無(wú)氣體流動(dòng)時(shí),傳感器的熱源對(duì)環(huán)境無(wú)影響,不會(huì)像傳統(tǒng)的熱式傳感器一樣造成氣體的對(duì)流。因而,具有優(yōu)良的零點(diǎn)穩(wěn)定性,傳感器可采用多種形式的封閉,增加了其應(yīng)用的廣泛性。
本公司也能根據(jù)客戶的具體標(biāo)求設(shè)計(jì)和定制產(chǎn)品,以滿足客戶廣泛的步同應(yīng)用需求。