上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院系學(xué)校直屬研究院，是專門從事微米納米科學(xué)與技術(shù)基礎(chǔ)和應(yīng)用基礎(chǔ)研究，以原創(chuàng)性成果和經(jīng)濟(jì)建設(shè)為目標(biāo)，開展以非硅微細(xì)加工與微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）、納米生物醫(yī)學(xué)、納米電子學(xué)與器件的制造技術(shù)為主要研究方向的多學(xué)科研究平臺(tái)。學(xué)科交叉明顯，研究條件先進(jìn)，具有較強(qiáng)的科技攻關(guān)和較高的學(xué)術(shù)水平。目前設(shè)有“微電子學(xué)與固體電子學(xué)”和“納米材料科學(xué)與工程”博士點(diǎn)，“微電子學(xué)與固體電子學(xué)”碩士點(diǎn)，招收和培養(yǎng)來自不同學(xué)科的碩士、博士、博士后，設(shè)有“薄膜與微細(xì)技術(shù)”教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、“微米納米加工技術(shù)”國家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。是學(xué)校“211”一期、“211”二期、“985”一期重點(diǎn)投資建設(shè)單位之一。