上海交通大學微納科學技術研究院系學校直屬研究院，是專門從事微米納米科學與技術基礎和應用基礎研究，以原創性成果和經濟建設為目標，開展以非硅微細加工與微機電系統（MEMS）、納米生物醫學、納米電子學與器件的制造技術為主要研究方向的多學科研究平臺。學科交叉明顯，研究條件先進，具有較強的科技攻關和較高的學術水平。目前設有“微電子學與固體電子學”和“納米材料科學與工程”博士點，“微電子學與固體電子學”碩士點，招收和培養來自不同學科的碩士、博士、博士后，設有“薄膜與微細技術”教育部重點實驗室、“微米納米加工技術”國家級重點實驗室。是學?！?11”一期、“211”二期、“985”一期重點投資建設單位之一。