上海微泓自動化設備有限公司(Shanghai Micro-Motion Automation CO.,LTD)成立于2008年2月,由留學德國的歸國人員創(chuàng)立的高科技企業(yè),落戶上海漕河涇高科技開發(fā)區(qū)浦江科技園。微泓自動化專門從事超精密運動、微納精密定位和操作等技術與產品研發(fā)、制造與銷售。致力于為用戶提供微/納米級精密運動、定位控制與操作控制的的解決方案。并提供標準產品、系統(tǒng)集成和用戶定制設計的產品與相關技術咨詢服務。標準產品包括:1)1-6自由度納米定位平臺與控制系統(tǒng)(包括高真空與高潔凈產品);2)1-6自由度微定位平臺與控制系統(tǒng)(包含包括高真空與高潔凈產品);3)晶圓輸送真空機械手;4)晶圓輸送潔凈大氣機械手;
微泓自動化的企業(yè)精神“ 微準達境,泓淵致遠”,寓意“精密運動與定位控制產品的研發(fā)與制造進入微納的境界,企業(yè)內涵如泓潭匯水,心存高遠”。
微泓自動化與上海交通大學微納精密驅動與控制實驗室(MNM Lab)是長期“產學研”聯(lián)盟,共同承擔國家重大科技專項課題。微泓自動化擁有實力雄厚的技術研發(fā)與產品設計隊伍,積累了豐富的制造與產品應用經驗。微泓自動化為客戶的精密運動,微納精密定位與操作控制的需求提供**幫助與解決方案。
微泓自動化的技術與產品主要應用于:1)大規(guī)模集成電路制造裝備;2)光電子制造裝備;3)納米制造裝備與MEMS技術;4)科學儀器與精密計量;5)超精密加工;6)生物工程等。