上海微泓自動(dòng)化設(shè)備有限公司(Shanghai Micro-Motion Automation CO.,LTD)成立于2008年2月,由留學(xué)德國(guó)的歸國(guó)人員創(chuàng)立的高科技企業(yè),落戶上海漕河涇高科技開發(fā)區(qū)浦江科技園。微泓自動(dòng)化專門從事超精密運(yùn)動(dòng)、微納精密定位和操作等技術(shù)與產(chǎn)品研發(fā)、制造與銷售。致力于為用戶提供微/納米級(jí)精密運(yùn)動(dòng)、定位控制與操作控制的的解決方案。并提供標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品、系統(tǒng)集成和用戶定制設(shè)計(jì)的產(chǎn)品與相關(guān)技術(shù)咨詢服務(wù)。標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品包括:1)1-6自由度納米定位平臺(tái)與控制系統(tǒng)(包括高真空與高潔凈產(chǎn)品);2)1-6自由度微定位平臺(tái)與控制系統(tǒng)(包含包括高真空與高潔凈產(chǎn)品);3)晶圓輸送真空機(jī)械手;4)晶圓輸送潔凈大氣機(jī)械手;
微泓自動(dòng)化的企業(yè)精神“ 微準(zhǔn)達(dá)境,泓淵致遠(yuǎn)”,寓意“精密運(yùn)動(dòng)與定位控制產(chǎn)品的研發(fā)與制造進(jìn)入微納的境界,企業(yè)內(nèi)涵如泓潭匯水,心存高遠(yuǎn)”。
微泓自動(dòng)化與上海交通大學(xué)微納精密驅(qū)動(dòng)與控制實(shí)驗(yàn)室(MNM Lab)是長(zhǎng)期“產(chǎn)學(xué)研”聯(lián)盟,共同承擔(dān)國(guó)家重大科技專項(xiàng)課題。微泓自動(dòng)化擁有實(shí)力雄厚的技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)品設(shè)計(jì)隊(duì)伍,積累了豐富的制造與產(chǎn)品應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)。微泓自動(dòng)化為客戶的精密運(yùn)動(dòng),微納精密定位與操作控制的需求提供**幫助與解決方案。
微泓自動(dòng)化的技術(shù)與產(chǎn)品主要應(yīng)用于:1)大規(guī)模集成電路制造裝備;2)光電子制造裝備;3)納米制造裝備與MEMS技術(shù);4)科學(xué)儀器與精密計(jì)量;5)超精密加工;6)生物工程等。