1974年美國Varian創立Cryopump Business，從此確立在Semicon行業的王者地位，1991年Varian將此業務售于日本Ebara Technologies，2001年Genesis Vacuum Technologies買入此業務，Base在San Jose，2002年韓國，日本分公司相繼成立。
Genesis Vacuum Technologies（Suzhou）Inc，蘇州捷納思真空設備貿易有限公司，成立于2007年1月，專注于真空技術領域，Focus在Semicon，LCD，OLED，航天，Vacuum coating，R&D等領域。
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