芯源公司創立于2002年，由中科院沈陽自動化研究所引進國外先進技術投資興辦，主營產品為集成電路制造勻膠/顯影設備（即Coater / Developer）。公司擁有高等級凈化廠房和的研發辦公環境，已通過ISO9001、ISO14001、OHSAS18000體系和SEMI-S2認證。
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芯源公司擁有專業的技術團隊，在引進國際先進技術的基礎上，消化吸收、創新提高，擁有多項專利技術并形成系列產品，包括全自動、手動設備，模組結構，靈活選配，可根據用戶的工藝要求量身定制產品。產品適應不同工藝等級的客戶要求，廣泛用于光刻、制版、擦片、清洗、濕法刻蝕、封裝和各種薄膜旋涂工藝。可滿足Ф200mm、0.25μm前道制程和Ф300mm先進封裝厚膠膜制程。
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芯源公司在上海設有辦事處，配備了快速響應的銷售和技術服務團隊，產品已銷往國內多家客戶。
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????業務領域：
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????1． 單晶圓處理設備的研發、生產、銷售與服務。
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????2． 零部件銷售、二手設備翻新、系統技術服務。
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????3． 半導體領域產品代理銷售。
