武漢金光科技有限公司 (WUHAN GOLDEN SCIENCES CO.,LTD) ,是一家專門開發和生產納米微結構加工設備、納米薄膜加工設備、納米薄膜傳感器及其它納米薄膜元器件的高科技公司。
公司基于離子體技術、離子源技術、離子束濺射技術來研究和開發固體表面納米薄膜淀積和納米微結構加工設備及其應用。公司利用研發的成果,已經生產出用于固體材料表面的 納米微結構加工設備、納米薄膜加工設備 。 包括有離子束濺射納米薄膜淀積設備、離子束干法蝕刻設備、離子束輔助淀積和加工裝置以及等離子體(離子束)增強 CVD設備。
我們生產的 納米微結構加工設備和納米薄膜加工設備及其應用工藝 廣泛用于集成電路制備單層和多層納米薄膜和這些薄膜的納米尺寸的微細結構的加工(二維尺寸)、用于微電子機械技術的納米薄膜淀積和納米微結構的三維加工和用于各種微電子器件的納米薄膜制備和納米微結構的加工,這些微電子器件包括光電器件、紅外器件、磁性器件、聲表面波器件、太陽能電池、薄膜電路和薄膜集成傳感器等,另外還可以用于固體表面的納米尺寸的減薄、拋光、結構等微加工。
本公司利用自己生產的設備和應用工藝,已經生產出濺射鈉米薄膜壓力傳感器和壓力變送器器,產品具有高精度、高工作溫度(-40至150℃)、高穩定性、高可靠性的優良品質??蓮V泛用于航空、航天、艦艇、戰車、石油、化工、能源電力、交通、工程機械等領域。